西安工业大学2025年01月政府采购意向

采购内容:探针台；

主要功能或目标:立体显微镜：15x–100x放大倍率，实现 fF 级别测量；具有大视野和可用于照相机的C型卡口；四个三轴探头臂和高质量的三轴电缆；光/EMI 屏蔽；用于 fF 级别测量的升级选项；RIAX卡盘具有±8的theta卡盘精细旋转，三个辅助区域，卡盘表面具有±5μm的平面度，以实现一致的接触力和超行程；利用单一设置可完成东/西至北/南测量。；

需满足的要求:光子芯片精确定位和瞄准；实现光子芯片的多端光电性能测试和分析，配合平台已有设备，构建无源和无源光电器件设计和流片、异质结光芯片制备、光子芯片集成测试耦合和封装、片上集成光谱成像芯片流片和测试，铌酸锂、碳酸锂晶体材料等工艺线。

采购内容:光子器件封装耦合仪；

主要功能或目标:线性滑台行程200mm，手动导轨整体移动正视和侧视相机，三维燕尾滑台，调节镜头位置及焦距，行程+/-15mm，0.7X~4.5变焦，放大倍率200X+，LED环形灯，工作距离80～100mm。耦合精度≤1微米；耦合光纤种类：单模、多模。；

需满足的要求:光子芯片和光纤的耦合封装；实现双侧水平FA（光路垂直）和芯片垂直耦合，手动点胶组件实现耦合后FA预固定，双边6轴高精度手动滑台，正视和侧视显微观察系统，FA夹持夹具，手动点胶等功能。实现全自动的耦合、在线能量监控、对准、点胶等功能。

采购内容:通用光电元器件分析仪；

主要功能或目标:10 MHz ~ 67 GHz；1310±5 nm； 1530 ~ 1565 nm （C 波段可调）； 1570 ~ 1610 nm （L 波段可调）；线宽 < 100 kHz （@ C+L 波段）〈 3 MHz (@ 1310 nm)。；

需满足的要求:基于“微波光子技术”，配合罗德与施瓦茨的矢量网络分析仪协同工作，实现电-光、光-电和光-光 3类光子器件的频谱响应和时间响应参数的测量。适应电-光元器件（电光调制芯片、器件、模块，微波光发射模块等）；光-电元器件（光电探测芯片、器件、模块，微波光接收模块等）；光-光元器件（光滤波器、光复用器芯片、光学器件、光学模块等）；微波元器件、微波模块等主要参数的综合测试和评价。系统具备高达67GHz的测试频率，100KHz线宽的光源输出，30Km光纤/波导的测试能力等。

采购内容:阵列成像测试系统；

主要功能或目标:匹配读取1280*1026、640*512分辨率ROIC；实现ROIC和读取电路的快捷链接；具备兼容1280*1026、640*512等分辨率ROIC芯片的能力（包含单电极和两电极结构，单元电流在1nA）。分辨率640*480，像素读出电流≥1nA，响度间距≤50微米，帧频120HZ。；

需满足的要求:主要用于光子中心成像单元的成像驱动和特性评价，具备上位机实时成像、数据存储、简单图像处理能力；能够实现量子点、纳米线等材料以及不同机理探测器件（光电导、光伏）成像测试需求。

采购内容:ALD设备；

主要功能或目标:设备主机规格：用于8英寸及小尺寸样品。 反应腔系统：双腔结构；样品台单独加热；进样方式：样品台电动升降，样品手动转载。 前驱体源输送系统：反应源与金属前驱体源单独进入反应腔体。配备6路前驱体源输送管路；常温源：配备三孔ALD阀门、源手动阀；加热源：配备三孔ALD阀门、源手动阀；载气辅助源：配备三孔ALD阀门、载气脉冲ALD阀门、源手动阀、MFC；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统。 真空系统：采用双级油封式真空泵。 控制系统：PLC+工业触摸屏方式；支持灵活扩展通信方式；可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；可进行温度PID参数自整定、前驱体标签修改等；可实时显示加热状态、阀门开关状态、压力曲线、等离子体功率曲线、镀膜进度；可实时监测动力气体压力值、加热状态、阀门开关状态等。 等离子体源及控制：远程ICP等离子体系统，等离子体发生腔独立于反应腔室，与反应腔以标准CF100接口连接；独立的等离子体工艺气体系统，等离子体工艺气体2路，每路均包含MFC控制，可选O2、N2、Ar、NH3或H2；采用13.56 MHz射频电源。 ；

需满足的要求:项目建设后，建成并投入使用实验室能够提升学校办学与科研设施设备水平，其中原子层沉积系统（ALD）具备原子级薄膜制备能力，针对多孔、高深宽比的衬底结构可实现表面沉积高均匀性、保型性、低缺陷的Al2O3、TiO2、AlN等高质量薄膜制备。ALD设备符合国家、行业、地方规定的质量和安全标准。